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産業用検査機器

フラットネステスター
FT-900

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斜入射干渉法フラットネステスター

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  • 外径φ200mm以下のサンプル測定が可能です。
  • 半導体ウェーハ(シリコン、化合物、酸化物、ガラス)、ハードディスクドライブ(HDD)用磁気ディスク(アルミ、ガラス) [F121/R125] プロジェクトミュー(Projectμ) ブレーキパッド BESTOP 前後セット TOYOTA マーク MARK 2500 00.10~ JZX115(4WD)、産業用金属片 『31番のみ』 キザシ用 センサー ヒーテッドオキシジェン 18213-57L00 FIG143b スズキ純正部品、任意形状等のサンプル測定が可能です。
  • サンプルは粗面から鏡面、透明体や穴あき、異型まで幅広く対応します。
  • レーザ光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測できます。

機能・性能

【エントリーでポイント5倍】195/70R15 106/104L DUNLOP ダンロップ ENASAVE VAN01 エナセーブ VAN01 FINALSPEED GR-Volt ファイナルスピード GRボルト サマータイヤホイール4本セット特価セール開催中

  • レーザ光による全面一括解析により、短時間で測定データを取得。
  • 測定結果は、測定値、等高線図、鳥瞰図、断面図等として表示可能。
  • 多重干渉縞に対応した独自の位相シフト解析。
  • 専用解析装置によるシステム制御でのイージーオペレーション(OS Windows ベース)。
  • 操作画面は日本語または英語で表示が可能
  • 透明体サンプルについて、解析はもちろん裏面干渉を低減させた測定を行うことが可能。
  • 外周除外領域の変更等、一度測定を行ったサンプルデータをもとに再計算が可能。
  • お客様サンプルの使用前点検を行うのみで、特別なキャリブレーションは不要。

豊富なオプション群

  • ウェーハ BMW純正 ラゲッジ・ルーム・ネット(F06/F12/F13)、角型サンプル、任意形状等各々のソフト設定を切り替えで使用可能。
  • ウェーハ用では独自のバキュームチャックを使用し、高精度GBIR(TTV)測定が可能。
  • 透明体サンプル用として裏面干渉縞(厚さむら)を高精度に解析することが可能。
  • 半導体業界で要求の高いステッパーシミュレーション、ストレス解析ソフト。
  • 部分測定対応に任意エリアソフト。
  • 使用用途に応じた豊富な受台。

サンプル測定について

装置評価として、サンプル測定を随時承っております。
ご用命は、右上の「お問い合わせ」にお進みいただき、お問い合わせ内容欄に「FTサンプル測定依頼」と入力し、お送りください。 差し支えなければ、サンプル情報(材料、大きさ、厚さ等)もご入力ください。

表示例

*各画像をクリックすると拡大画像が表示されます。


 

1. ウェーハ


 

2. ディスク ※FT-17のみ



 

3. 角型


 

4. 任意形状



 

5. ウェーハ用ステッパーシミュレーション  (オプション)


 

6. ウェーハ用ストレス解析  (オプション)



 

7. 任意エリア(オプション)


 

8. 厚さむら解析(オプション) ※FT-900のみ



 

9.測定データ差分比較ソフト(オプション) ※FT-900のみ


仕様


FT-17シリーズFT-900シリーズ
解析なし解析付解析付
測定方法光波干渉方式(斜入射)
光源半導体レーザ
(655 nm、3 mW)
He-Neレーザ
(632.8 nm、5 mW)
サンプルサイズφ130 mm以下
但し平坦度測定はφ100 mm以下
φ200 mm以下
サンプル厚さ10 mm以下(平坦度測定は250 µm~2000 µm以下)
その他厚さは別途ご相談ください
サンプルの種類ウェーハ(シリコン、化合物、酸化物、ガラス)、金属片、ディスク(アルミ、ガラス※FT-900はディスク非対応)、マスク、任意形状サンプル等の鏡面及び非鏡面(反射率の低い非鏡面は除く)
サンプル傾斜角度垂直又は垂直より手前に8度傾斜
(御注文時に御指定下さい)
干渉計設定感度1、2、3、4、5 µm/縞

(但し、下面基準の場合は1、2 µm/縞のみ。3 µm/縞は参考)
※厚さ1 mm以上の下面基準の場合は1 µm/縞のみ
1 オートプロデュース エースリー インプレッサ GR ボディサポートシリーズ リアセッションサポート ブラック、2、3、4、5、8、10 µm/縞

(但し、下面基準の場合は1、2 µm/縞のみ。3 µm/縞は参考)
※厚さ1 mm以上の下面基準の場合は1 µm/縞のみ
裏面干渉設定感度
※オプション装置時
-----サンプル材質により感度が変わります
例:石英約0.275 µm/縞
測定範囲縞感度の30倍
(縞の状況、ズームサイズ等により30倍以下の場合もあります)
撮像系ズーム比3倍以上(マニュアルズーム)3倍以上(電動ズーム)
表示分解能-----0.01 µm
繰り返し精度
Repeatability:1σ
-----0.02 S+0.02 M(µm)
条件:サンプルを同一セッティングでの連続測定
Sは縞感度(µm)
Mは測定値(µm)
有効画素数-----640×480 画素
測定時間
OS Windows®ベース
一般的な測定条件にて *注1
-----約6秒以下約6秒以下
裏面干渉同時
測定時
50秒以下
測定領域
条件によっては設定された領域での測定が不可能の場合あり
-----外周0.1mmから0.01mm
Stepで設定可能
外周0.1mmから0.01mm
Stepで設定可能
裏面干渉測定は厚さの2倍以上から0.01 mm単位
本体寸法
(単位mm)
除:突起部
521(W)×485(D)×438(H)720(W)×920(D)×514(H)
電源AC100 V±10% 50/60 Hz 3Pプラグ付コード(2.4 m)
500 VA(FT-17本体約50 VA)600 VA(FT-900本体約100 VA)
真空源-80×10³Pa以下
20 R/min
1/4 inchチューブ接続
構成干渉計本体干渉計本体+解析装置
(PC本体、PC用モニター〔24 inch液晶〕、標準ソフト1種類、
DVD±R/RW、レシピ化ソフト、左右反転ソフト、
再計算ソフト、干渉縞観察用モニター)
使用環境
(周囲温度、湿度、高度)
23±3℃
50±20%RH(ただし結露なきこと)
高度:海抜2000m以下
重量干渉計本体 約90 kg干渉計本体 約90 kg
解析装置 約30 kg
干渉計本体(コントローラーを含む) 約140 kg
解析装置 約30 kg
干渉縞解析ソフト
標準ソフトはウェーハ用、ディスク用、角型用のいずれか1つ、その他は追加OPとなります。
※解析装置ありの場合
OP:オプション
表示機能-----干渉縞、鳥瞰図、等高線図、断面図、測定結果、測定条件、マップデータ等
ウェーハ用-----SEMI準拠(TV、GBIR、GFLR、GF3D、GF3R、SORI)、BOW ウインマックス【Winmax】ブレーキパットARMA (アルマ スポーツ) [1台分SET]アコードEURO-R CL7 02.01-※ブレーキパット材はご選択ください。 、Taper
ウェーハ用OP-----全マップ出力、ステッパーシミュレーション、ストレス解析
ディスク用-----P-V、RMS、TIR、VEL、ACC(FT-17のみ対応)
角型用-----P-V、RMS
角型用OP-----ストレス解析
共通OP-----任意エリアソフト(任意形状測定には非対応)
任意形状サンプル用-----任意形状ソフト P-V、RMS

*注1:一般的な測定条件詳細については、

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